余姚市天仁真空镀膜有限公司
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塑料镀膜技术

时间:2017-07-01

塑料镀膜技术

1 )电阻蒸发源蒸镀法  

 采用钽、钼、钨等高熔点金属,做成适当形状的蒸发源,其上装入待蒸发材料,让 电流通过,对蒸发 材 料 进 行 直 接 加 热 蒸 发 , 或 者 把 待 蒸 发 材 料 放 入 Al203 、 BeO 等坩埚中进 行间接加热蒸发,这就是电阻加热蒸发法。

   利用电阻加热器加热蒸发的优点: 镀膜机构造简单, 造价便宜、 使用可靠, 可用于熔 点不太高的材料的蒸发镀膜,尤其适用于对膜层质量要求不太高的大批量的生产中。   

 电阻加热方式的缺点是:加热所能达到的最高温度有限, 加 热 器 的 寿命也较短。近年 来, 为了提高加热器的寿命, 国内外已采用寿命较长的氮化硼合成的导电陶瓷材料作为加 热器。 

  2 )电子束蒸发源蒸镀法       

将蒸发材料放入水冷铜坩埚中,直接利用电子束加热,使蒸发材料气化蒸发后凝 结在基板表面成膜,是真空蒸发镀膜技术中的一种重要的加热方法和发展方向。电子束 蒸发克服了一般电阻加热蒸发的许多缺点, 特别适合制作熔点薄膜材料和高纯薄膜材料。 依靠电子束轰击蒸发的真空蒸镀技术,根据电子束蒸发源的型式不同,又可分为环形枪、 直枪(皮尔   斯枪 ) 、 e 型 枪 和空心阴极电子枪等 几 种 。    

电子束蒸发源的优点为:

①电子束轰击热源的束流密度高,能获得远比电阻加热源 更大的能量密度。可以使高熔点 ( 可高达 3000 ° C 以上 ) 材料蒸发,并且能 有较高的蒸发 速度

;②由于被蒸发材料是置于水冷坩埚内,因而可避免容器材料的蒸发,以及容器材 料与蒸镀材料之间的反应, 这 对 提 高 镀膜的纯度极为重要;

 ③热量可直接加到蒸镀材料的 表面,因而热效率高,热传导和热辐射的损失少。

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